代理德國thyracont皮拉尼真空計
大連力迪流體控制技術(shù)有限公司作為thyraconts代理,誠摯為各位提供德國thyracont全系列產(chǎn)品。
一、Thyracont品牌核心優(yōu)勢
德國Thyracont成立于1970年,50余年專注真空測量技術(shù)創(chuàng)新,以高精度、耐用性及智能化為核心競爭力。其產(chǎn)品融合傳統(tǒng)工藝與現(xiàn)代技術(shù),例如的微型Pirani螺旋絲和寬量程組合傳感器,已成為行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)。
代理德國thyracont皮拉尼真空計真空表優(yōu)勢:
•具有16bar的超壓穩(wěn)定性,無需超壓閥,節(jié)約成本
•響應(yīng)速度快,精度高
•防護(hù)等級高可達(dá)IP54
•法蘭處耐溫度,高達(dá)160攝氏度
•輸出信號:4-20mA,0- 10v, RS485, EtherCAT, Profinet滿足不同的控制系統(tǒng)連接
? 磁控濺射鍍膜設(shè)備以及離子鍍膜設(shè)備所需的超高真空度范圍,thyracont的VSM冷陰極和VSH熱陰極復(fù)合真空規(guī)
l VSM 1000到5*E-9mbar(5*E-7Pa) 皮拉尼/冷陰極
1. 磁控濺射是一種物理氣相沉積技術(shù),利用磁場和電場約束電子,提高濺射效率。磁控濺射的工作過程,比如氬離子轟擊靶材,濺射原子沉積到基片上形成薄膜。其中,在真空腔室(通常抽至1*E-5mbar(1*E-3Pa)量級)中通入氬氣。
a) 通常會使用皮拉尼冷陰極復(fù)合規(guī)。
l VSH 1000到5*E-10mbar(5*E-8Pa) 皮拉尼/熱陰極
1. 離子鍍膜設(shè)備是基于物理氣相沉積(PVD)技術(shù)的高精度表面處理設(shè)備,通過等離子體環(huán)境中的離子轟擊實現(xiàn)膜層沉積,廣泛應(yīng)用于工具、裝飾、電子、光學(xué)等領(lǐng)域。
2. 磁控濺射需本底真空≤5×10?? Torr(≈6.67×10?? Pa)以避免油蒸氣污染
3. 半導(dǎo)體/光學(xué)鍍膜(如晶圓封裝、濾光片)
a) 真空度:晶圓封裝需<5×10?? mbar(≈5×10?? Pa),光學(xué)鍍膜需<1×10?? Pa
b) 目標(biāo):納米級膜厚精度(±1%),避免氣體吸附導(dǎo)致的光學(xué)損耗
c) 通常會使用皮拉尼熱陰極復(fù)合規(guī)
各品牌產(chǎn)品對比
型號 | Thyracont圖拉特 VSM77 | 英???/strong> MPG4XX | 萊寶 PTR90RN | 愛德華 WRG200 |
測量范圍 | 1000---5e-9mbar | 1000mbar---5e10-9mbar | 1000---1e-8mbar | 1x10?? to 1000 mbar |
精度 | 1000 ... 10 mbar: approx. 30% f. reading 10 ... 2.0x10-3 mbar: 10% f. reading 2.0x10-3 ... 1.0x10-8 mbar: 25% f. reading | 30%reading | 100 to 1000 ±25% of reading 1e-3 to 100 ±5% of reading 5e-4 to 1 e-3 ±10% of reading 1e10-8 to 1 e10-3 ±30% of reading | <30% :1x10?? to 1x10?33 <15% :from 1x10?33 to 10mbar |
| 常用的范圍內(nèi)thyracont精度要高于其他品牌 |
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